EDS/EDX Detector Cool Down สำหรับเครื่องวิเคราะห์ธาตุ

Detector Cool Down สำหรับเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX
บทความนี้ Do SEM ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม)
manatsanan2007@hotmail.com 

หลังจากเทศกาลหยุดยาวไม่ว่าจะวันปีใหม่ วันสงกรานต์ สำหรับท่านที่ใช้เครื่อง
วิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX ที่ได้ทำ Detector warm up ตัวตรวจจับ(Detector)
ไว้ก่อนหน้านี้ โดยที่ Detector ที่ว่าเป็นแบบจะต้องเติม LN2 ในโตรเจนเหลวไว้
ตลอดเวลา แต่ถ้าไม่ต้องการใช้ หรือไม่มี LN2 เราก็สามารถ Warm up เพื่อหยุด
การใช้เป็นการชั่วคราวได้ (เครื่อง EDS OXFORD Link ISIS 200/300) ถ้าจะกลับ
มาใช้หลังหยุดยาว มีวิธีมาแนะนำครับ




ส่วนท่านที่ใช้ EDS INCA Series และยี่ห้ออื่นรอวิธีการกับบทความต่อไปนะครับ

ขั้นตอนการทำ Detector Cool Down
เปิดสวิทช์ LINK ISIS Tower ให้ทำงาน เราจะได้ยินเสียง Alarm จาก ISIS
Tower หลังจากนั้นให้เราเปิดคอมฯ และเข้าโปรแกรม LINK ISIS
เมื่อเปิดโปรแกรม LINK ISIS จังหวะที่โปรแกรมกำลังเปิดหน้า Labbook ขึ้นมา
จะมีหน้า warning message *** LN2 LOW *** ซึ่งหมายถึงระดับ LN2 ในโตร
เจนอยู่ในระดับต่ำมาก หรือไม่มี LN2 อยู่ภายใน Detector dewar เลย




ตามภาพ warning message โชว์ "Crystal warm" มีความหมายว่าหน้า Crystal
เราอุ่น(warm)ไม่พร้อมใช้งาน สถานะพร้อมใช้งานจะต้อง Coolหรือเย็นเท่านั้นปกติ
บริเวณ Crystal อุณภูมิจะประมาณติดลบ -40 ถึง-50 องศา ถึงจะพร้อมใช้งาน กรณี
นี้เราต้องทำ Detector cool down เพื่อจะกลับมาใช้งาน EDS/EDX ได้

จะเห็น  warning message นี้ปรากฎขึ้นมาแสดงว่า เราไม่ได้เติม LN2 มาเป็นเวลา
นาน และครั้งแรกที่ทำการติดตั้ง EDS/EDX


หลังจากเราเปิดโปรแกรม Link ISIS เราจะเห็น window Labbook โชว์ขึ้น
มาตามภาพ ด้านล่าง ขั้นตอนต่อไปให้เราคลิกที่รูป Detector ตามกรอปสีส้ม

ข้อควรระวัง : ในการทำ Detector cool down ในทุกๆครั้ง หลังเราหยุดใช้
งาน Detector เป็นระยะนานด้วยการทำ Detector warm up มาก่อนหน้าหรือ
จะเป็นการขั้นตอนการติดตั้งของช่างเองในตอนแรก
นั้นก็คือ ก่อนทำ Detector cool down เราจะต้องเปิดเครื่อง SEM,FE-SEM,
EPMA,TEM ให้อยู่ในสภาวะ Vacuum ก่อน และที่สำคัญกว่าจะต้องปรับ
สภาพอุณหภูมิห้อง และDetector dewar เองโดยการเปิดแอร์ 23-25 องศา
ประมาณ 1-2 ชั่วโมงอย่างต่ำ ถ้าเป็นไปได้ 3-4 ชั่วโมงจะดีมาก

ถ้าไม่ทำโอกาสจะเจอ Thermal shock,มีไอน้ำแข็งเกาะบริเวณ Crystal ซึ่ง
จะเป็นสาเหตุ Detector resolution ไม่ดี,% Dead timeสูง หรือสวิงไม่นิ่ง,
ไม่สามารถวิเคราะห์ Light element ได้ และอื่นๆ

ถามว่าถ้าเกิดปัญหาเหล่านี้มีทางแก้ไหม มีครับ ติดตามบทความต่อๆไปนะครับ



หลังจากที่เราคลิกรูป Detector จะมีหน้า Spectrum detail และ Detector and set up
ปรากฎตามภาพล่าง

ในหน้านี้ทำอะไรได้บ้างนอกจากจะทำ Detector Cool down ในส่วนนี้สามารถ
ทำการสอบเทียบ Calibration,ละลายน้ำแข็งและปรับสภาพตัวตรวจจับวัดด้วย โหมด
Conditioner และ Discriminator, Detector Config ,Detector Warm upและอื่นๆ
ซึ่งจะ นำเสนอในบทความต่อๆไป





ตามภาพให้เราคลิกเมาท์ที่เมนู Detector



เราจะเห็นเมนูคำสั่งย่อยขึ้นมาตามภาพ เราจะเห็นคำว่า Detector Cool Down
เป็นตัวหนังสือสีดำ ความหมายคือสถานะ Detector ตอนนี้ Detector/Crytal
นั้น warm อยู่ ไม่พร้อมใช้งาน

ให้เราคลิก Detector Cool Down ตามภาพ
เมื่อคลิก Detector Cool Down เสียง Alarm จาก ISIS Tower จะเงียบไป
หรือจะคลิกที่ LN2 Alarm reset 1ครั้งเสียงก็จะเงียบเหมือนกัน


ตามภาพ เราจะยืนยันการทำ Detector cool down ก็ให้เราคลิก Yes




หลังคลิก Yes ในขั้นตอนนี้ต้องระวัง 10นาทีแรก ห้ามเติม LN2 ก่อนเครื่องจะพร้อมให้เติม




หลังเราคลิก OK จะมีหน้าโชว์ระยะเวลาในการทำ Detector cool down
ทั้งหมด 1 ชั่วโมง 15 นาที (10 นาทีแรกห้ามเติม LN2)




เมื่อมาถึงเวลาที่ 1 ชั่วโมง 5 นาที




ตามภาพล่าง เมื่อผ่าน 10 นาที เครื่องจะให้เราเติม LN2 ในโตรเจนเหลว เราจะต้อง
เติม LN2 ในโตรเจนเหลวให้เต็ม Detector dewar (ระวัง)ก่อนแล้ว จะ คลิก OK ได้




หลังคลิก OK ขั้นตอนจะต้องรอไปอีก 1 ชั่วโมง 5นาทีเครื่องถึงจะเสร็จขั้นตอนของการ
ทำ Detector cool down และพร้อมใช้งาน

น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com
หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ BigC จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ)
หรือมาติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ยังไม่ได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่
อยู่ครับ ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ

http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl

*********************************************************************
cool down,detector cool down,eds cool down,edx cool down

บทความน่าสนใจอื่นๆ
Detector Cool Down สำหรับเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX คลิก

Detector warm up สำหรับ OXFORD EDS คลิก 

EDS ,EDX resolution check มาเช็คสุขภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน คลิก

มหัศจรรย์หนอนผีเสื้อ" วงศ์ Tineidae " ผ่านกล้องจุลทรรศน์ คลิก

CAMEO คือเทคนิคการวิเคราะห์เฟสของวัสดุ เชิงคุณภาพด้วยเครื่อง EDS,EDX คลิก

โหมดภาพจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด คลิก

การวิเคราะห์ธาตุ ตามแนวกำหนดเส้นส่องกราดแบบ Linescan คลิก

การวิเคราะห์การกระจายตัว และหาตำแหน่งของสาร/ธาตุ ด้วยวิธีการ Mapping คลิก

ส้มจิ๊ดถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์ฯ SEM และวิเคราห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ เชิงคุณภาพด้วย EDS,EDX คลิก

สะเก็ดแผล ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ คลิก

วิเคราะห์อิฐมวลเบา อิฐเบา อิฐขาว ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM,EDS/EDX คลิก

แป้งเด็ก แป็งเย็น ผงแป้ง ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM และวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก

เทคนิคการวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS หรือ EDX, WDX หรือ WDS, และ EPMA แบบใหนดีกว่ากัน คลิก

วิเคราะห์เส้นผม วิเคราะห์เส้นขน คลิก

มหัศจรรย์ผึ้งน้อย คลิก

จุลินทรีย์ คือสิ่งสิ่งมีชีวิตที่สายตาเปล่า คนเรามองไม่เห็น คลิก

การวิเคราะห์เส้นใย สิ่งทอ เส้นไหม เส้นใยสังเคราะห์ fibers คลิก

วิเคราะห์ความเสียหายวัสดุและอุปกรณ์ ในวงการอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ ฮาร์ดดิสก์ ไฟฟ้า คลิก

แร่ธาตุในข้าวหอมมะลิ คลิก

ผงชูรส และผงปรุงรส คลิก

วิเคราะห์สิว ด้วยกล้องจุลทรรศน์ คลิก

ความมหัศจรรย์ของหนวดหรือเคราฤาษี คลิก

ปากดีของมดดำ คลิก

ผมมันชั่ว ผมมันเลว คลิก

ฟองน้ำ ฟองน้ำ คลิก

เชื่อหรือไม่ว่าคือขนมปัง คลิก

แกงไก่หน่อไม้ดอง  คลิก

มาจุดธูปขอหวยกัน คลิก

พระเครื่องเก่าแก่ คลิก

บ้านและสวนสวย คลิก

 

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php
สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด

High resolution ภาพถ่ายกำลังขยายสูง กับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM

ภาพถ่ายกำลังขยายสูง กับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป
แบบส่องกราด SEM

บทความนี้ Do SEM ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม)  มากๆค่ะ
manatsanan2007@hotmail.com 

ถ้าผมเปรียบเทียบรุ่นของกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯให้คล้ายกับรุ่นรถยนต์
เราสามารถเปรียบเทียบรุ่นของกล้องตามประสิทธภาพของกล้องให้เหมือน
รุ่นของรถได้ดังนี้

1.กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM(W Filament) =คล้ายรถ Vios/Jazz
Resolution กล้องแบบนี้จะอยู่ที่ 3 nm.(นาโนเมตร) ที่ 30 kV

2.กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM(LaB6 Filament) =คล้ายรถ Altis/Civic
Resolution กล้องแบบนี้จะอยู่ที่ 3 nm.(นาโนเมตร) ที่ 30 kV แต่ที่ low kV
ภาพจะชัดกว่าแบบ W Filament ค่อนข้างมาก ที่0.5-15kV จะชัดกว่ามาก

3.กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ FE-SEM(W Filament) =คล้ายรถ Camry/Accord
Resolution กล้องแบบนี้จะอยู่ที่ 0.8-1.5 nm.(นาโนเมตร) ที่ 15 kV
กล้องแบบนี้ดีสุด แพงสุด และที่สำคัญให้บริการน้อยสุดในเมืองไทย
ในเมื่อกล้องแบบ FE-SEM ดีสุดแต่มีให้บริการและรับบริการ ไม่ถึง 1 %
จากเครื่องทั้งหมดในเมืองไทย ทำให้ไม่เพียงพอต่อความต้องการ

บทความนี้ผมจะใช้กล้องกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM(W Filament)
ซึ่งเป็นรุ่นต่ำสุด มาลองถ่ายภาพที่กำลังขยายสูง เพื่อแก้ขัด กับการขาด
แคลนของ FE-SEM กัน มาลองดูกันครับ(ความคมชัดของภาพในบทความลง
เป็นไฟล์ JPEG. แต่ต้นฉบับเป็น BMP.)

ตามภาพเป็น Latex (ภาพนี้ใช้ 20kV) 1 แสนเท่า
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20 kV (กิโลโวลท์)    
กำลังขยาย x 100k เท่า สเกล 0.1 um (ไมครอน ) หรือ 0.0001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #1
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com

* ปกติเครื่อง SEM/EPMA ถ่าย high resolution จะต้องใช้ตัวอย่าง Au particle (Gold) 
   ใช้ Acc. 30 kV   Aperture #1
** ปกติเครื่อง FE-SEM ถ่าย high resolution จะต้องใช้ตัวอย่าง Au particle (Gold) 
   ใช้ Acc. 15 kV และ 1 kV (ส่วนตัวชอบถ่าย 0.5 kV 1แสนเท่า) Aperture #1



ตามภาพเป็น Latex (ภาพนี้ใช้ 30kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 30kv (กิโลโวลท์) 
กำลังขยาย x 75k เท่า สเกล 0.1 um (ไมครอน ) หรือ 0.0001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #1
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com



ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 20kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์) 
กำลังขยาย x 75k เท่า สเกล 0.1 um (ไมครอน ) หรือ 0.0001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com



หมายเหตุ : ตัวอย่าง Latex ปกติจะถ่ายกำลังขยายไม่เกิน 35k (35,000) เท่า
                การถ่ายภาพกำลังขยายสูงบางตัวอย่างขึ้นกำลังขยายสูงได้ บางตัวอย่าง
                ใช้ Condition ตาม 2 ภาพบนก็ไม่สามารถจะถ่ายได้ (W Filament)
                ชัดเท่ากับภาพสองภาพด้านบนได้

ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 30kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 30kv (กิโลโวลท์) 
กำลังขยาย x 50k เท่า สเกล 0.5 um (ไมครอน ) หรือ 0.0005 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com



ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 20kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์) 
กำลังขยาย x 35k เท่า สเกล 0.5 um (ไมครอน ) หรือ 0.0005 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 1 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com



หมายเหตุ : การใช้ Aperture #1 จะชัดกว่า #2

ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 20kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์) 
กำลังขยาย x 20k เท่า สเกล 1um (ไมครอน ) หรือ 0.001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 5 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com



ตามภาพเป็น Latex  (ภาพนี้ใช้ 20kV)
ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคปแบบส่องกราด SEM ที่ 20kv (กิโลโวลท์) 
กำลังขยาย x 20k เท่า สเกล 1um (ไมครอน ) หรือ 0.001 มิลลิเมตร
ถ่ายในโหมด High vacuum ภาพแบบ SEI ใช้ Spot size 5 และ Aperture #2
ถ่ายโดย www.dosem24hr.com



สำหรับ SEM Resolution check ส่วนใหญ่จะใช้ Gold particle สำหรับการเช็ค
และจะเช็คที่กำลังขยาย 100k เท่า ถ้า FE-SEM ก็จะเช็คที่ 100-250k เท่าครับ

ครับผลของการถ่ายภาพออกมา ก็พอแก้ขัดได้ดีพอควร กับการที่ FE-SEM ไม่
เพียงพอ แต่การถ่ายภาพแบบนี้ใช่ว่าทุกเครื่องจะสามารถถ่ายได้ เครื่องดีแต่คน
ถ่ายตั้งค่าในการถ่ายไม่ดี ก็ไม่สามารถถ่ายภาพออกมาได้ตามตัวอย่างภาพด้าน
บนได้ ขึ้นอยู่กับคนขับ(คนถ่าย)แล้วละครับ ที่จะต้องใช้ฝีมือในการถ่าย แต่ถ้า
เป็น FE-SEM บอกได้เลยครับถ่ายง่ายกว่า SEM ถึง 10เท่าเลยละครับติดตาม
บทความต่อๆไปนะครับ จะนำเทคนิคถ่ายภาพให้ได้สวย และชัด และ
สามารถขึ้นกำลังขยายได้สูง ติดตามกันนะครับ

น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com
หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ Big C จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ)
หรือมาติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ไม่ค่อยได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่
อยู่ครับ ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ
http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl

ขอขอบคุณ เจ้าของตัวอย่าง Latex Standard : Mr.David Lee (Do SEM)

***************************************************
Resolution,resolution check,SEM resolution check,ภาพกำลังขยายสูง,
ภาพSEMกำลังขยายสูง

บทความน่าสนใจอื่นๆ 

ภาพถ่ายกำลังขยายสูง กับกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM คลิก

Detector warm up สำหรับ OXFORD EDS คลิก 

EDS ,EDX resolution check มาเช็คสุขภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน คลิก
มหัศจรรย์หนอนผีเสื้อ" วงศ์ Tineidae " ผ่านกล้องจุลทรรศน์ คลิก

CAMEO คือเทคนิคการวิเคราะห์เฟสของวัสดุ เชิงคุณภาพด้วยเครื่อง EDS,EDX คลิก

โหมดภาพจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด คลิก

การวิเคราะห์ธาตุ ตามแนวกำหนดเส้นส่องกราดแบบ Linescan คลิก

การวิเคราะห์การกระจายตัว และหาตำแหน่งของสาร/ธาตุ ด้วยวิธีการ Mapping คลิก

ส้มจิ๊ดถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์ฯ SEM และวิเคราห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ เชิงคุณภาพด้วย EDS,EDX คลิก

สะเก็ดแผล ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ คลิก

วิเคราะห์อิฐมวลเบา อิฐเบา อิฐขาว ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM,EDS/EDX คลิก

แป้งเด็ก แป็งเย็น ผงแป้ง ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM และวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก

เทคนิคการวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS หรือ EDX, WDX หรือ WDS, และ EPMA แบบใหนดีกว่ากัน คลิก

วิเคราะห์เส้นผม วิเคราะห์เส้นขน คลิก

มหัศจรรย์ผึ้งน้อย คลิก

จุลินทรีย์ คือสิ่งสิ่งมีชีวิตที่สายตาเปล่า คนเรามองไม่เห็น คลิก

การวิเคราะห์เส้นใย สิ่งทอ เส้นไหม เส้นใยสังเคราะห์ fibers คลิก

วิเคราะห์ความเสียหายวัสดุและอุปกรณ์ ในวงการอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ ฮาร์ดดิสก์ ไฟฟ้า คลิก

แร่ธาตุในข้าวหอมมะลิ คลิก

ผงชูรส และผงปรุงรส คลิก

วิเคราะห์สิว ด้วยกล้องจุลทรรศน์ คลิก

ความมหัศจรรย์ของหนวดหรือเคราฤาษี คลิก

ปากดีของมดดำ คลิก

ผมมันชั่ว ผมมันเลว คลิก

ฟองน้ำ ฟองน้ำ คลิก

เชื่อหรือไม่ว่าคือขนมปัง คลิก

แกงไก่หน่อไม้ดอง  คลิก

มาจุดธูปขอหวยกัน คลิก

พระเครื่องเก่าแก่ คลิก

บ้านและสวนสวย คลิก

 

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php
สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด

Detector warm up ,EDS Warm up,EDX Warm up

Detector warm up
บทความนี้ Do SEM ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม)
manatsanan2007@hotmail.com

เมื่อถึงเทศกาลหยุดยาวไม่ว่าจะวันปีใหม่ วันสงกรานต์ สำหรับท่านที่ใช้เครื่อง
วิเคราะห์ธาตุ EDS/EDX ที่ตัวตรวจจับ(Detector) เป็นแบบจะต้องเติม LN2
ในโตรเจนเหลวไว้ตลอดเวลา กับเครื่อง EDS OXFORD Link ISIS 200/300
ถ้าไม่มีใครคอยเติม LN2 ช่วงวันหยุดละก็ มีวิธีมาแนะนำครับ

ส่วนท่านที่ใช้ EDS INCA Series ไม่ต้องกังวลครับ ถ้าชุด X-Stream ไม่ได้
ปิดไฟไว้ รุ่นนี้มันสามารถ Auto warm upได้ พอเราจะกลับมาใช้เราต้องมา
สั่ง Detector Cool down  โดยไปสั่งที่ Detector Control เมนูแล้วทำตาม
ขั้นตอนครับ (บทความต่อไป)

เปิดโปรแกรม LINK ISIS แล้วจะเห็น window Labbook โชว์ขึ้นมาตามภาพ
ด้านล่าง ขั้นตอนต่อไปให้เราคลิกที่รูป Detector ตามกรอปสีส้ม



หลังจากที่เราคลิกรูป Detector จะมีหน้า Spectrum detail และ Detector
and set up ปรากฎตามภาพล่าง

ในหน้านี้ทำอะไรได้บ้างนอกจากจะทำ Detector Warm up ในส่วนนี้สามารถ
ทำการสอบเทียบ Calibration,ละลายน้ำแข็งและปรับสภาพตัวตรวจจับวัดด้วย
โหมด Conditioner และ Discriminator, Detector Config และอื่นๆ ซึ่งจะ
นำเสนอในบทความต่อๆไป



ตามภาพให้เราคลิกเมาท์ที่เมนู Detector



เราจะเห็นเมนูคำสั่งย่อยขึ้นมาตามภาพ เราจะเห็นคำว่า Detector Cool Down
เป็นตัวหนังสือสีเทา ความหมายคือสถานะ Detector ตอนนี้ Detector/Crytal
นั้นเย็นอยู่พร้อมใช้งาน

กรณีเราจะหยุดใช้งานเป็นเวลานาน หรือจะไม่มีใครเติม LN2 ช่วงหยุดยาว เรา
ก็สามารถใช้คำสั่ง Detector Warm up ได้




ตามภาพ เราจะWarm Up ก็ให้เราเลื่อนเมาท์มาคลิกที่ Detector warm up




ถ้าเรายืนยันจะ Warm up ให้คลิก Yes.



เครื่องบางเวอร์ชั่น ISIS300 ที่เวอร์ชั่นสูงหน่อย จะมีหน้าตามภาพด้านล่าง
ทำให้เราสามารถยกเลิกการ Warm up ได้ในขั้นตอนนี้ ถ้าเรายังจะWarm up
เราก็รอต่อ 15 นาทีเพื่อให้ขั้นตอนการ Warm เสร็จสมบูรณ์และสามารถปิด
PC ได้



เมื่อผ่าน 15 นาทีก็จะเสร็จทุกขั้นตอน และต่อไปนี้เราก็ไม่ต้องและห้ามเติม LN2
ในโตรเจนเหลวอีก จนกว่าเราจะใช้คำสั่ง Detector Cool Down (บทความต่อไป)
ถึงจะกลับมาเติม LN2 ได้ และกลับมาใช้งานได้อีกครั้ง

คลิก OK เพื่อเสร็จขั้นตอนการ warm up หลังจากนั้นเราก็ปิด PC และ LINK ISIS
Townwer ได้เลยครับ



มีคำถามว่าหลังจากเรา Warm up เราสามารถปล่อยให้ Detector อยู่โดยไม่ต้อง
เติม LN2 ได้นานขนาดใหน นานเป็นอาทิตย์ เป็นเดือน เป็นปีก็สามารถทำได้ครับ
ถ้าจะหยุดเป็นปีก็คงไม่ดีเท่าไร กลับมาใช้อาจจะ Resolution ไม่กลับมาเป็นค่าเดิม
ก่อนหน้าที่เราจะทำ Warm up 

ผมเองมีประสบการณ์กับ Detector ที่ Warm up ไว้ประมาณ 10ปี ไม่ได้ใช้งาน
และหลังจากที่ทำ Detector cool down เพื่ิอกลับมาใช้งาน ผลปรากฏว่า
Resolution เกิดตกท้องช้าง หมายถึง Resolution ที่ Process time 1-3(PT1-3)
 มีค่าปกติ,แต่PT4 จะเท่าหรือใกล้เคียงPT3,PT5 ค่าใกล้เคียง PT2 ,และ PT1
ค่าใกล้เคียง PT6 ตอนนั้นวัดได้ 183ev. ค่าจริงแล้วจะต้องค่าใกล้เคียง 133ev.

ซึ่งในความเป็นจริง เครื่องปกติค่า PT1 จะมีค่ามากสุด ไปหาค่าน้อยสุดที่ PT6
ค่า PT6 ค่าจะต้องใกล้เคียงค่า Resolution ที่ระบุไว้บนสติกเกอร์ของ Detector
(133ev.)สำหรับ Detectorที่มี Resolution ไม่ดีตัวนี้ผมก็มีวิธีแก้ครับ ผมสามารถ
ทำให้กลับมาใช้งานได้เป็นปกติ (บทความต่อไป)

น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com
หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ BigC จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ)
หรือมาติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ยังไม่ได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่
อยู่ครับ ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ
http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl

*********************************************************************
Warm up,Detector warm up,EDS Warm up

บทความน่าสนใจอื่นๆ

Detector warm up สำหรับ OXFORD EDS คลิก 

EDS ,EDX resolution check มาเช็คสุขภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน คลิก
มหัศจรรย์หนอนผีเสื้อ" วงศ์ Tineidae " ผ่านกล้องจุลทรรศน์ คลิก

CAMEO คือเทคนิคการวิเคราะห์เฟสของวัสดุ เชิงคุณภาพด้วยเครื่อง EDS,EDX คลิก

โหมดภาพจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด คลิก

การวิเคราะห์ธาตุ ตามแนวกำหนดเส้นส่องกราดแบบ Linescan คลิก

การวิเคราะห์การกระจายตัว และหาตำแหน่งของสาร/ธาตุ ด้วยวิธีการ Mapping คลิก

ส้มจิ๊ดถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์ฯ SEM และวิเคราห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ เชิงคุณภาพด้วย EDS,EDX คลิก

สะเก็ดแผล ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ คลิก

วิเคราะห์อิฐมวลเบา อิฐเบา อิฐขาว ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM,EDS/EDX คลิก

แป้งเด็ก แป็งเย็น ผงแป้ง ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM และวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก

เทคนิคการวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS หรือ EDX, WDX หรือ WDS, และ EPMA แบบใหนดีกว่ากัน คลิก

วิเคราะห์เส้นผม วิเคราะห์เส้นขน คลิก

มหัศจรรย์ผึ้งน้อย คลิก

จุลินทรีย์ คือสิ่งสิ่งมีชีวิตที่สายตาเปล่า คนเรามองไม่เห็น คลิก

การวิเคราะห์เส้นใย สิ่งทอ เส้นไหม เส้นใยสังเคราะห์ fibers คลิก

วิเคราะห์ความเสียหายวัสดุและอุปกรณ์ ในวงการอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ ฮาร์ดดิสก์ ไฟฟ้า คลิก

แร่ธาตุในข้าวหอมมะลิ คลิก

ผงชูรส และผงปรุงรส คลิก

วิเคราะห์สิว ด้วยกล้องจุลทรรศน์ คลิก

ความมหัศจรรย์ของหนวดหรือเคราฤาษี คลิก

ปากดีของมดดำ คลิก

ผมมันชั่ว ผมมันเลว คลิก

ฟองน้ำ ฟองน้ำ คลิก

เชื่อหรือไม่ว่าคือขนมปัง คลิก

แกงไก่หน่อไม้ดอง  คลิก

มาจุดธูปขอหวยกัน คลิก

พระเครื่องเก่าแก่ คลิก

บ้านและสวนสวย คลิก

 

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php
สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด

EDS ,EDX resolution check มาเช็คประสิทธิภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน

EDS ,EDX resolution check มาเช็คสุขภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน
บทความนี้ขอขอบคุณคุณกอล์ฟ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม)
manatsanan2007@hotmail.com
สำหรับ End User ที่ใช้เครื่องวิเคราะห์ธาตุ Oxford Link ISIS รุ่นนี้ End User สามารถเช็ค
ด้วยตัวเองได้ แต่ถ้าเป็นรุ่นสูงกว่านี้ไม่ว่าจะเป็นรุ่น INCA series และ AZtec series ในส่วน
End User ไม่สามารถทำได้เพราะต้องใช้ Engineer password (สำหรับ Enginee เท่านั้น)

การเช็คนี้สามารถเช็คการทำงานของบอร์ด Link ISIS Tower,Power supply,ISIS software
,Error และ Resolution

EDS Resolution ความสามารถแยกแยะแจกแจงความกว้างของพีค ค่านี้ยิ่งมีค่าน้อยยิ่งดี
โดยทั่วไป EDS Resolution ค่านี้จะอยู่ระหว่าง 115 - 140 ev.(electron volt) เราจะทราบ
ได้อย่างไรว่า EDS ที่เราใช้ Resolution เท่าไรกัน ไม่ยากครับ ให้เราดูที่ EDS Detector
label ที่จะเป็นป้ายสติกเกอร์แปะติดเอาไว้ ด้านข้าง/ล่างของ Detector ให้ดูที่ข้อความ
RESOL. AT Mn 5.9 Kev. จะระบุไว้ว่า Resolution เราจะเป็นเท่าไร ถ้าเป็นของ Oxford
จะมี 133 ev. และ 138 ev. (บางรุ่นได้ถึง 115 ev.)




พอเราเช็คป้ายและทราบแล้วว่า Detector resolution มีค่าเท่าไรแล้ว ถ้าต้องการเช็คว่าได้
ตามที่ระบุไว้ไหม หรือตอนนี้ประสิทธิภาพของ Detector เราเป็นอย่างไรไม่ยากครับ

ตามภาพล่าง



ให้เข้าที่ Program > ISIS Setup > Customer Validation



หน้า Customer Validation จะเปิดขึ้นมาตามภาพ แล้วคลิกปุ่มเริ่ม Start ซ้ายมือตามภาพ



หลังคลิก Start ใช้เวลาไม่เกิน 5 วินาทีการเช็คบอร์ด Link ISIS Tower,Power supply,
ISIS software,Error จะเสร็จสิ้น ยกเว้นการเช็ค Resolution ถ้าต้องการดูผลให้คลิกที่รูป
ปริ้นเตอร์ ในที่นี้เราจะยังไม่ดูผล เราจะเช็คResolution ให้เสร็จก่อนแล้วดูผลทีเดียว ตาม
ภาพล่างถ้าจะเช็คResolution ต่อให้คลิกปุ่มรูป Detector ต่อ



หรือที่เมนูคำสั่งคลิกที่ >Detector Diagnose


หน้า Detector Diagnosis

ช่องที่ทำเครื่องหมายสี่เหลี่ยมส้มแรก จะถามเราว่าเราทำการปรับสภาพตัวตรวจจับ(Detector)
ล่าสุดเมื่อไร ให้เราใส่เป็นวันที่ หรือไม่ใส่ก็ได้   ส่วนช่องส้มที่สองจะถามเรา 4 ข้อ
ข้อแรก ถามว่าสายเคเบิลระหว่างตัวตรวจจับ กับบอร์ดต่ออยู่ไหม (คงไม่มีใครถอด)
ข้อสอง หมายเลข Attribute No.ตรงกับที่แสดงไหม เช็คหมายเลขได้ที่ Detector Label
ข้อสาม มีไอหรือหยดน้ำ รอบๆตัว Detector dewar ไหม
ข้อสี่   ระดับไนโตรเจน LN2 อยู่ในระดับไหม
ทั้งสี่ข้อถ้าไม่มีปัญหา และค่าตรงเราก็คลิก yes ทั้งหมด เสร็จแล้วคลิก Continue


การเช็คเพื่อไม่ให้ยุ่งยาก ให้เราเลือกใช้ Guided ตามภาพ



ขั้นตอนนี้เครื่องจะทำการเช็คบอร์ด DXP50 หรือ DSPP อัตโนมัติรอจนกระทั้ง Test Passed
เสร็จทั้งสามช่อง เสร็จแล้วคลิก Continue



ขั้นตอนนี้ให้เราปิด Beam/Filament ของเครื่อง SEM ก่อน หลังจากนั้นคลิก OK


หลังจากคลิก OK เราจะได้ผลตามภาพล่าง ผลที่ได้เป็นปกติเราสามารถทำขั้นตอนต่อไปได้
โดยการคลิก Continue ต่อ แต่ถ้าขั้นตอนนี้มีปัญหาจะมีข้อแนะนำให้เราปฏิบัติตาม หรือขอ
คำแนะนำจาก Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com ได้ครับ



ขั้นตอนนี้ให้เราเปิด Beam/Filamet และปรับ Beam Probe/Spot size ให้ได้ Input rate
ระหว่าง 500 ไม่เกิน 1000 cps. และเช็คค่า Resolution ตรงกับ Detector label ไหม
ถ้าตรง เสร็จแล้วคลิก OK





หลังคลิก OK ระบบจะเริ่มเช็ค Resoluion ตั้งแต่ Process Time 1 ถึง 6


ผลการเช็คResolution ตามภาพด้านล่าง Resolution process time 5 และ 6 ไม่ดี
จะทำให้การวิเคราะห์เชิงปริมาณเชิงคุณภาพไม่ค่อยดี Peak จะกว้างและจะ Overlab
ความสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา Light element และธาตุที่มีปริมาณน้อยๆจะทำได้ไม่ดี
ความแม่นยำเชิงปริมาณลดลงไปเยอะ
Resolution แบบนี้ไม่ลิเนียร์ หรือแบบตกท้องช้าง (แบบปกติต้องมากไปน้อยสุด)

ข้อแก้ไขปลายเหตุ ต้องหนีไปใช้ process time 4 แทนกรณีต้องการวิเคราะห์
เชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ

ส่วนข้อแก้ไขต้นเหตุ ติดตามบทความ แก้ไขเรื่องEDS Resolution บทความต่อไป




ผลการเช็คResolution ตามภาพด้านล่าง Resolution process time  6 ไม่ดี
จะทำให้การวิเคราะห์เชิงปริมาณเชิงคุณภาพไม่ค่อยดี Peak จะกว้างและจะ Overlab
ความสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา Light element และธาตุที่มีปริมาณน้อยๆจะทำได้ไม่ดี
ความแม่นยำเชิงปริมาณลดลงไปเยอะ

ข้อแก้ไขปลายเหตุ ต้องหนีไปใช้ process time 5 แทนกรณีต้องการวิเคราะห์
เชิงปริมาณและเชิงคุณภาพ

ส่วนข้อแก้ไขต้นเหตุ ติดตามบทความ แก้ไขเรื่องEDS Resolution บทความต่อไป



ผลการเช็คResolution ตามภาพด้านล่าง Resolution process time 1- 6 ไม่มีปัญหา
จะทำให้การวิเคราะห์เชิงปริมาณเชิงคุณภาพดีมาก Peak จะแคบและจะไม่ Overlab
ความสามารถวิเคราะห์ธาตุเบา Light element และธาตุที่มีปริมาณน้อยๆจะทำได้ดี
ความแม่นยำเชิงปริมาณเชิงคุณภาพจะสูง

Resolution ที่เราเช็คได้คือ 132 ev.(Process time 6/ PT6) ต่ำกว่าที่ระบุไว้ที่ Detector
label ยิ่งต่ำกว่ายิ่งดี ผลที่เช็คเราเช็คจากเครื่อง SEM ถ้าเราเช็คจาก FE-SEM เราจะได้ค่า
ประมาณ 127-129 ev. (Detector label it was 133 ev.)

เสร็จขั้นตอนนี้เราก็คลิก Continue



มาถึงขั้นตอนนี้ให้ปรับ Input rate เกิน 1000 cps. ขึ้นไป โดยปรับ Beam Probe/Spot size



ปรับ Input rate เกิน 1000 cps. ได้แล้วคลิก OK



หลังคลิก OK จะได้ผลตามภาพ เสร็จขั้นตอนนี้เราก็คลิก Continue



หลังได้ผลตามภาพ เสร็จขั้นตอนนี้เราก็คลิก Continue



ขั้นตอนการเช็ค Detector ของเราก็เสร็จทุกขั้นตอน เสร็จแล้วคลิก OK



หลังคลิก OK จะกลับมาหน้านี้ แล้วเราก็คลิก Close



ถ้าจะดูผล และพิมพ์ผลที่เราเช็คมาทั้งหมด ให้คลิกที่ปุ่มปริ้นเตอร์ตามภาพ



คลิกที่ปุ่มปริ้นเตอร์ เราก็จะเจอหน้า Customer Details จะเป็นข้อมูลหน่วยงานเรา
ที่ Engineer ได้ป้อนข้อมูลไว้ตั้งแต่ติดตั้ง ส่วนนี้เราสามารถแก้ไขข้อมูลนี้ได้ เสร็จ
แล้วก็คลิก OK



หลังคลิกที่ OK เราจะได้หน้า Report ออกมา 2 หน้าจะเป็นรายละเอียดเกี่ยวกับ
Link ISIS Tower,Power supply,ISIS software,Error และค่า Resolution ที่
เราเช็คได้ และสามารถปริ้นผลเก็บได้



ถ้าผลการเช็คเราได้ผลออกมาไม่ดี ยังมีวิธีแก้ไขได้ด้วย End user หลายวิธีด้วยกัน
ประมาณ 4 วิธีด้วยกัน ถ้า 4วิธีนี้ทำแล้วเหมือนเดิมก็ต้องตาม Engineer แล้วละครับ
ติดตามวิธีกับบทความ แก้ไขเรื่องEDS Resolution บทความต่อไปครับ

สำหรับ End user ท่านใดที่มีรุ่น INCA series และ AZtec series ก็ให้ตามช่างมา
ช่วยเช็คให้แล้วกัน โดยส่วนใหญ่ Engineer จะเช็คให้อยู่แล้ว เวลาช่างมาทำ PM และ
Column Cleaning ส่วนผมจะเช็คมากกว่าที่กล่าวมา คือเช็คความแม่นยำของตัวตรวจ
จับ หรือ Detector Accuracy เพิ่มเติม รอและติดตามบทความนี้ต่อไปครับ
น้อมรับทุกคำชี้แนะครับ Mr.Golf (สิงห์เฒ่าซ่อมเซ็ม) manatsanan2007@hotmail.com
หรือมาพบปะพูดคุยได้ตามประสาได้ที่ BigC จ.สุรินทร์ (แอร์ฟรี 555 จริงๆนะครับ)
หรือมาติดตามเป็นเพื่อนผ่านโซเชียลเน็ตเวิร์ค แต่ยังไม่ได้อัพและแชร์ มัวแต่ทำนาทำไร่
อยู่ครับ ตามลิงค์ด้านล่างเลยครับ
http://www.facebook.com/JeolOxfordInstruments?ref=hl

*********************************************************************
resolution check,eds resolution,edx resolution,detector resolution,resolution,link isis resolution

บทความน่าสนใจอื่นๆ

EDS ,EDX resolution check มาเช็คสุขภาพเครื่องวิเคราะห์ธาตุ EDS,EDX กัน คลิก
มหัศจรรย์หนอนผีเสื้อ" วงศ์ Tineidae " ผ่านกล้องจุลทรรศน์ คลิก

CAMEO คือเทคนิคการวิเคราะห์เฟสของวัสดุ เชิงคุณภาพด้วยเครื่อง EDS,EDX คลิก

โหมดภาพจากกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด คลิก

การวิเคราะห์ธาตุ ตามแนวกำหนดเส้นส่องกราดแบบ Linescan คลิก

การวิเคราะห์การกระจายตัว และหาตำแหน่งของสาร/ธาตุ ด้วยวิธีการ Mapping คลิก

ส้มจิ๊ดถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์ฯ SEM และวิเคราห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก

วิเคราะห์ธาตุเชิงปริมาณ เชิงคุณภาพด้วย EDS,EDX คลิก

สะเก็ดแผล ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ คลิก

วิเคราะห์อิฐมวลเบา อิฐเบา อิฐขาว ด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM,EDS/EDX คลิก

แป้งเด็ก แป็งเย็น ผงแป้ง ถ่ายด้วยกล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนฯ SEM และวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS,EDX คลิก

เทคนิคการวิเคราะห์ธาตุด้วย EDS หรือ EDX, WDX หรือ WDS, และ EPMA แบบใหนดีกว่ากัน คลิก

วิเคราะห์เส้นผม วิเคราะห์เส้นขน คลิก

มหัศจรรย์ผึ้งน้อย คลิก

จุลินทรีย์ คือสิ่งสิ่งมีชีวิตที่สายตาเปล่า คนเรามองไม่เห็น คลิก

การวิเคราะห์เส้นใย สิ่งทอ เส้นไหม เส้นใยสังเคราะห์ fibers คลิก

วิเคราะห์ความเสียหายวัสดุและอุปกรณ์ ในวงการอิเล็กทรอนิกส์ เซมิคอนดักเตอร์ ฮาร์ดดิสก์ ไฟฟ้า คลิก

แร่ธาตุในข้าวหอมมะลิ คลิก

ผงชูรส และผงปรุงรส คลิก

วิเคราะห์สิว ด้วยกล้องจุลทรรศน์ คลิก

ความมหัศจรรย์ของหนวดหรือเคราฤาษี คลิก

ปากดีของมดดำ คลิก

ผมมันชั่ว ผมมันเลว คลิก

ฟองน้ำ ฟองน้ำ คลิก

เชื่อหรือไม่ว่าคือขนมปัง คลิก

แกงไก่หน่อไม้ดอง  คลิก

มาจุดธูปขอหวยกัน คลิก

พระเครื่องเก่าแก่ คลิก

บ้านและสวนสวย คลิก

ที่มา : http://www.dosem24hr.com/index.php
สถานที่ให้และรับบริการ SEM,EDS : ใกล้ฟิวเจอร์รังสิต และดรีมเวิลด์

Do SEM บริการเครื่อง SEM กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอนไมโครสโคป แบบส่องกราด